Utilisé dans le domaine du vide, soit des basses pressions, il existe avec cathode froide (jauge de Penning) et cathode chaude. Le principe est de ioniser les molécules résiduelles et de calculer par la suite une intensité à partir des ions ainsi créés. Cette intensité permet ensuite de déterminer la pression. Le problème vient du fait que la mesure dépend de la nature du gaz, on doit donc utiliser un facteur de correction suivant les gaz restants.
